Gerçek zamanlı görüntü işleme kullanılarak kartezyen robot ile fotolitografide maske hizalama
Küçük Resim Yok
Tarih
2022
Yazarlar
Dergi Başlığı
Dergi ISSN
Cilt Başlığı
Yayıncı
Karabük Üniversitesi
Erişim Hakkı
info:eu-repo/semantics/openAccess
Özet
Bu tez çalışmasında, yarı iletken teknolojisinin temelini oluşturan aygıtların (transistör dizinleri, entegre devreler, vb.) üretim süreçlerindeki kritik aşamalarda kullanılan maske hizalayıcının üretimi amaçlanmaktadır. Bu teknolojiyi geliştirmek ve projenin Türkiye'deki laboratuvarlara taşınabilir hale gelmesini sağlamak hedeflerimiz arasındadır. Cihazın yarı otomatik veya tam otomatik bir yapıda olması ve istenilen işlemlerin büyük bir bölümünü önceden verilen komutlar sayesinde otonom olarak gerçekleştirmesi hedeflenmektedir. Gelişmeye açık olan bu sistemin kontrol bloğu, görüntü işleme ve geribesleme algoritmalarının etkin yazılım ile istenilen komutları eksiksiz yerine getirmesi sonucunda daha hassas hizalamaların yapılması planlanmaktadır. Bu sayede, geliştirmiş olduğumuz ürün kullanılarak daha yüksek kalitede teknolojik yarıiletken aygıtlar üretilebilecektir.
In this thesis, it is aimed to produce the mask aligner used in the critical stages of the production processes of the devices (transistor arrays, integrated circuits, etc.) that form the basis of semiconductor technology. Developing this technology and making the project portable to laboratories in Turkey are among our goals. It is aimed that the device will be semi-automatic or fully automatic and perform most of the desired operations autonomously, thanks to the commands given beforehand. It is planned to make more precise alignments with the control block, image processing and feedback algorithms of this system, which is open to development, fully fulfilling the desired commands with the effective software. In this way, higher quality technological semiconductor devices will be produced using the product we have developed.
In this thesis, it is aimed to produce the mask aligner used in the critical stages of the production processes of the devices (transistor arrays, integrated circuits, etc.) that form the basis of semiconductor technology. Developing this technology and making the project portable to laboratories in Turkey are among our goals. It is aimed that the device will be semi-automatic or fully automatic and perform most of the desired operations autonomously, thanks to the commands given beforehand. It is planned to make more precise alignments with the control block, image processing and feedback algorithms of this system, which is open to development, fully fulfilling the desired commands with the effective software. In this way, higher quality technological semiconductor devices will be produced using the product we have developed.
Açıklama
Lisansüstü Eğitim Enstitüsü, Mekatronik Mühendisliği Ana Bilim Dalı
Anahtar Kelimeler
Fizik ve Fizik Mühendisliği, Physics and Physics Engineering ; Mekatronik Mühendisliği
